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通过视觉设备与自动化设备的紧密配合，在流水线上实时检验产品的合格性，挑出不良品并自动剔除。主要过程包括：产品过来-传感器检测到- 触发相机拍照- 主机采集并分析处理- 结果给出信号- 触发剔除机构工
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1、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。2、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。3、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。4、扫描仪：采用闭环控制系统。5、工作台：气动装置、抗震、抗压。6、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算7、非接触式测量：避免物件受损。8、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
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